该厂为8屏幕尺寸晶圆种植线相互配套的超净水系統，每星期发生含硅废气150吨。废气中虽无天价属，但硅占比高易水垢，且热敏电阻率需满足了18MΩ·cm就可以行业废水正确处理。原来的正确处理工学艺无非满足了新颁布实施的《电子器件行业水影响物进行直接排放规范》（GB39731-2020）相当进行直接排放限制值。 废污水基本成分特征 重点污染问题物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、粒状硅（粒级0.1-1μm） 特出需要 ：TOC<10μg/L，硼水平<5μg/L 水质标准功能 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅无机化合物状态比较复杂 工作的工艺步骤流程 不断创新利用"梯级膜分开+电去铝离子"整合艺： 微滤预补救 ：1μm陶瓷制品膜屏蔽短信大颗料硅，通量维系80LMH 正离子更换树酯 ：D201大孔硅胶粘合剂确定性离心分离硅酸原子 五级RO系统化 ：一号段的回收利用率60%，二段选用高脱硼膜组件 EDI电去阴阳离子 ：交流电比热容2A/m²，快速取除稳定度铝离子 UV紫外线除臭 ：254nmUV直射线含量40mJ/cm² 技术应用新亮点 开拓专用的阻硅剂（巧妙胺类混合物），延长时间膜污染破坏时间是3倍 EDI引擎特色化流道设计的，硅去掉率不断提升至99.8% 线上硅具体分析仪器（在线测量空间0.1-500μg/L）变现识贫调控 运动举措 经3、方检侧： 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼纯度从8μg/L减至0.3μg/L 整体回收利用率从原40%不断提升至68% 膜进行更换时间是拉长至5年，年运营制造费减小35%