某半导体设备办理芯片造成厂在晶圆代加工阶段中,施用硅烷开展硅本质生张,汽车尾气洗滌塔制造高盐浓度含硅工业废水办理工艺。工业废水办理工艺兼备pH起伏较大大(2-11)、硅含水量高的显著特点,传统意义办理的方式易出現硅垢短路原因。
废水处理方法部分及收入
废水处理方法常见营养成分为:
融掉性硅酸盐
:SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L
氢防氧化钠/氢防氧化钠
:干洗塔酸碱度干洗液残留物
顆粒硅
:纳米技术级SiO₂固体
痕量砷
:原材料沉淀物带进去
除理工艺设计步奏
科学创新通过"二级结合+膜过滤程序+减压蒸馏成果"施工工艺:
6级与
:用CaO调试pH至4-5,转为硅酸钙放置,硅去掉率60%。
中级结合
:加Na₂CO₃将pH升高至9,进那步沉淀自己剩余时间硅,并接用镁剂除砷。
反渗透膜系統
:0.02μm瓷砖膜滤出奈米级硅颗粒物,通量安全稳定在80LMH。
MVR蒸发掉器
:浓缩液高盐工业废水,成果出Na₂SO₄副新产品,水使用率超90%。
结果是视觉效果
总硅从1500mg/L高于5mg/L以內
砷硫含量从0.8mg/L高于0.01mg/L
整体无结渣工作高出2年
每月再利用盐酸钠纳米线约800吨